High Pure 99,8% titanijum razreda 7 metaka za raspršivanje mete od legure za dobavljača tvornice premaza
Parametri proizvoda
Naziv proizvoda | Titanijumska meta za pvd mašinu za premazivanje |
Ocjena | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Cilj legure: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr itd |
Porijeklo | Grad Baoji, provincija Shaanxi, Kina |
Sadržaj titana | ≥99,5 (%) |
Sadržaj nečistoća | <0,02 (%) |
Gustina | 4,51 ili 4,50 g/cm3 |
Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Veličina | 1. Okrugla meta: Ø30--2000mm, debljina 3.0mm--300mm;2. Ploča Target: Dužina: 200-500 mm Širina: 100-230 mm Debljina: 3--40 mm;3. Cijevni cilj: Prečnik: 30-200 mm Debljina: 5-20 mm Dužina: 500-2000 mm;4. Prilagođeno je dostupno |
Tehnika | Kovan i CNC mašinski obrađen |
Aplikacija | Odvajanje poluprovodnika, Materijali za filmske prevlake, Oblaganje elektrodama za skladištenje, Oblaganje raspršivanjem, Površinsko premazivanje, Industrija premaza za staklo. |
Hemijski zahtjevi titanijumske mete
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Sadržaj elemenata (≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Drugi | ||||
Titanium Pure | Gr.1 | TA1 | Class1 | 0.03 | 0.08 | 0,015 | 0.20 | 0.18 | / |
Gr.2 | TA2 | Class2 | 0.03 | 0.08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
TitanijumLegura | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Class60 | 0.05 | 0.08 | 0,015 | 0,40 | 0.2 | Al:5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
Gr.7 | TA9 | Class12 | 0.03 | 0.08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0.12-0.25 | |
Gr.12 | TA10 | Class60E | 0.03 | 0.08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Po:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 |
Uzdužna mehanička svojstva na sobnoj temperaturi
Ocjena | Zatezna čvrstoćaRm/MPa(>=) | Granica tečenjaRp0,2 (MPa) | IzduženjeA4D(%) | Smanjenje površineZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titanijumske mete za prskanje
Uobičajena veličina mete za raspršivanje titanijuma: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 itd.
Također se može prilagoditi prema zahtjevima kupca ili crtežima
Ciljni zahtjevi: visoka čistoća, ujednačena kristalna zrna i dobra kompaktnost.
Čistoća: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Titanium Target Proizvodni proces
titanijumski sunđer --- istopljen u titanijum ingot --- ispitivanje --- rezanje ingota --- kovanje --- valjanje --- ljuštenje --- ispravljanje --- ultrazvučna detekcija grešaka --- pakovanje
Karakteristike titanijumske mete
1. Mala gustina i visoka specifična čvrstoća
2. Odlična otpornost na koroziju
3. Dobra otpornost na djelovanje topline
4. Odličan odnos prema kriogenim svojstvima
5. Nemagnetno i netoksično
6. Dobra termička svojstva
7. Nizak modul elastičnosti